特气柜是一种专门用于供应特种气体的设备，如易燃、易爆、剧毒等，这些气体在半导体和LED等新兴行业中应用广泛。为了满足不同生产需求，特气柜分为多种类型，如普通的气体柜和大流量气体供应柜，其中大流量气体供应柜能够提供更加稳定和大量的气体供应。我们公司作为专业的特气柜制造商，拥有多年的生产经验和国内优秀的售后服务团队，为客户提供高品质的特气柜产品，并确保客户的生产安全和稳定。
三瓶手动特气柜（GR）
规格：三瓶工艺气瓶，全自动
基础配置
■氦检报告
■三色塔灯
■防爆电控箱
■高压测漏功能
■带自清洁功能
■4寸排风口及阀门
■所有阀门使用气动阀
■三工艺瓶自动供气
■防爆外柜，烤漆或不锈钢外壳包覆
■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗
■实现人气分离的全自动触摸屏操作(外吹扫、抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，高压保压钢瓶接头测漏，泄漏报警对 接，通风出口等)
可选配置
■喷淋头
■带加热盘面
■高温探测报警
■配置电子磅秤
■配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应
■前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器
■为保证安全，所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
适应气体
燃爆性气体，如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性气体，如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
