特气柜主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，特气柜有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类气体排出去避免扩散产生更大危险。可分为单钢瓶/ 双钢瓶/ 三钢瓶气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。
基础配置
■氦检报告
■三色塔灯
■防爆电控箱
■高压测漏功能
■带自清洁功能
■工艺瓶自动供气
■4寸排风口及阀门
■所有阀门使用气动阀
■防爆外柜，烤漆或不锈钢外壳包覆
■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗
■实现人气分离的全自动触摸屏操作(外吹扫、抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，高压保压钢瓶接头测漏，泄漏报警对 接，通风出口等)
可选配置
■喷淋头
■带加热盘面
■高温探测报警
■配置电子磅秤
■配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应
■前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器
■为保证安全，所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
适应气体
燃爆性气体，如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性气体，如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
