特气柜是一种专门用于存放、管理和供应易燃易爆、腐蚀有毒等危害性气体的设备。特气柜设计独特,配备有外壳和抽风管,可以在发生小泄露等危险情况时,将危险气体迅速排出,避免扩散产生更大的危险。
特气柜的内部设计可根据实际需要调整,钢瓶数可分别设置为单钢瓶、双钢瓶和三钢瓶。这种灵活性使得特气柜能够适应不同的使用需求,方便用户根据实际情况进行选择和配置。
除了在半导体和LED等新兴行业得到广泛应用外,特气柜还广泛应用于化工、医药、电子等行业,为生产过程中的气体供应和安全保护发挥着重要作用。
我们公司作为专业的特气柜制造商,拥有多年的生产经验和优秀的售后服务团队,致力于为客户提供高品质的特气柜产品,确保客户的生产安全和稳定。
规格:双瓶工艺气瓶,全自动
基础配置
■氦检报告
■三色塔灯
■防爆电控箱
■高压测漏功能
■带自清洁功能
■4寸排风口及阀门
■所有阀门使用气动阀
■双工艺瓶自动供气
■防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆
■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗
■实现人气分离的全自动触摸屏操作(外吹扫、抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,高压保压钢瓶接头测漏,泄漏报警对 接,通风出口等)
可选配置
■喷淋头
■带加热盘面
■高温探测报警
■配置电子磅秤
■配置 UV/IR,喷淋头,高温,烟感应
■前端0.1μ过滤器,后端0.001μ终端过滤器
■为保证安全,所有阀门管件须使用美国Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
适应气体
燃爆性气体,如氢气(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等,毒腐性气体,如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氢(HCL)等
应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。