特气柜主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体，特气柜有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类气体排出去避免扩散产生更大危险。可分为单钢瓶/ 双钢瓶/ 三钢瓶气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。
混合手动特气柜（GR）
基础配置
■氦检报告
■高压测漏功能
■带自清洁功能
■半自动切换供气
■4寸排风口及阀门
■配置吹扫抽真空功能
■带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳
可选配置
■喷淋头
■带加热盘面
■高温探测报警
■配置电子磅秤
■烟雾感应器配置 UV/IR火焰探测器
■前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器
适应气体
燃爆性气体，如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性气体，如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
