特气柜是一种专门用于供应特种气体的设备，如易燃、易爆、剧毒等，这些气体在半导体和LED等新兴行业中应用广泛。为了满足不同生产需求，特气柜分为多种类型，如普通的气体柜和大流量气体供应柜，其中大流量气体供应柜能够提供更加稳定和大量的气体供应。我们公司作为专业的特气柜制造商，拥有多年的生产经验和国内优秀的售后服务团队，为客户提供高品质的特气柜产品，并确保客户的生产安全和稳定。
三瓶手动特气柜（GR）
规格：三瓶工艺气瓶，手动
基础配置
■氦检报告
■手动操作
■高压测漏功能
■带自清洁功能
■三瓶工艺瓶供气
■半自动切换供气
■4寸排风口及阀门
■配置吹扫抽真空功能
■带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳
可选配置
■喷淋头
■带加热盘面
■高温探测报警
■配置电子磅秤
■烟雾感应器配置 UV/IR火焰探测器
■前端0.1μ过滤器，后端0.001μ终端过滤器
适应气体
燃爆性气体，如氢气（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性气体，如二氧化硫（SO2）、硫化氢（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氢（HCL）等
应用行业
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
